产品说明
半导体制造对运动控制提出严苛要求：纳米级定位、零颗粒污染、高频响应。直线电机直接驱动技术消除了机械传动的背隙问题，而气浮平台以空气轴承替代物理接触，两者结合在光刻机晶圆台、探针台等设备中实现微振动控制与超高精度定位。例如晶圆缺陷检测需在200mm/s速度下保持±0.1μm轨迹精度，传统方案难以企及。
复合技术方案
深耕精密传动领域13年，整合直线电机、气浮导轨、压电陶瓷三大技术模块：
直线电机平台：重复定位精度±0.5μm，适配真空环境；
气浮运动系统：平面度误差<1μm/300mm，无摩擦磨损；
压电微动平台：纳米级闭环补偿，解决热漂移问题。
半导体设备应用实例
服务超500家客户，其中半导体领域占比35%：
EFEM晶圆传输：为华为供应链企业定制三轴系统，节拍时间缩短至1.2秒；
掩模版清洗机：苹果供应商产线采用气浮平台，颗粒污染控制达Class 1标准；
芯片键合设备：小米合作项目集成压电平台，补偿精度±5nm。
整机质保1年，开放半导体设备同行业案例免费参观。
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#直线电机#直线电机模组，广东深圳直线电机、深圳直线电机模组平台厂家，汉诺是一家25年行业经验，专注高精密高稳定性直线电机模组平台研发定制生产厂家，公司主要产品有：直线电机、直线电机平台、直线电机模组、气浮平台、压电平台、EFEM晶圆前端传输设备等产品，广泛用于高精密自动化设备，公司拥有一万五千平研发生产车间，完备的6S生产管理，拥有多名十年以上装配经验高级技工，同时，汉诺直线电机公司定制厂家还拥有多台高精密检测设备，如10台雷尼绍激光干涉仪，准直仪、激光多普勒分析仪等，此外，汉诺直线电机平台公司还同哈工大、桂林理工大学等进行多项产学研合作，汉诺直线电机模组平台公司，经过多年发展，积累了各行业多家TOP企业客户，尤其是半导体、激光、3C、LED面板检测、PCB、医疗器械等领域，汉诺公司高精密直线电机模组深入参与苹果、华为、小米等手机、电脑产业链，新能源汽车产业链、光伏产业链等高精密自动化仪器设备厂家的深度合作。汉诺公司高精密直线电机平台能够解决客户微米、亚微米、纳米级等高精密的精准稳定运动控制，纳米级压电平台可以控制在正负3nm左右。包括单轴运动，不同方向的多轴、多维度运动，可以提供从铝型材、钢底板、大理石等不同级别，不同要求的解决方案，协助高精密自动化设备企业解决了众多的精密、精准、稳定，控制运动的众多难题，赢得了广泛的赞誉和信任，公司80%的业绩都是来源于老客户返单和老客户的转介绍。你报参数我选型，至佳匹配才更行。高精密直线电机找汉诺，运行精准稳定无差错。直线电机找汉诺，精准稳定是承诺。#自动化设备厂家 # 自动化设备公司#直线电机哪家好。详情见官网：http://www.hanocn.com/ff0000/main.cshtml
